晶盛機(jī)電周末通過(guò)其微信公眾號(hào)透露，公司成功研發(fā)了8英寸導(dǎo)電型SiC(碳化硅)晶體，晶盛第三代半導(dǎo)體材料SiC研發(fā)自此邁入8英寸時(shí)代。消息披露后，晶盛機(jī)電8月15日開(kāi)盤(pán)后股價(jià)持續(xù)走高，收盤(pán)漲幅12%。

多位采訪(fǎng)對(duì)象告訴記者，今年以來(lái)，我國(guó)SiC行業(yè)喜訊連連，包括擴(kuò)建廠(chǎng)房、接大訂單、尺寸越做越大……汽車(chē)等下游用戶(hù)缺芯問(wèn)題或能緩解。

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8英寸SiC研發(fā)新突破

晶盛機(jī)電透露，此次研發(fā)成功的8英寸SiC晶體，厚度25mm，直徑214mm，是大尺寸的重大突破。此次不但成功解決了8英寸SiC晶體生長(zhǎng)過(guò)程中溫場(chǎng)不均、晶體開(kāi)裂、氣相原料分布等難點(diǎn)問(wèn)題，同時(shí)還破解了SiC器件成本中襯底占比過(guò)高的難題，為大尺寸SiC襯底廣泛應(yīng)用打下基礎(chǔ)。

消息發(fā)布后，8月15日，晶盛機(jī)電股價(jià)大漲。

SiC具有“高硬度、高脆性、低斷裂韌性”特性，晶體生長(zhǎng)過(guò)程中很容易發(fā)生開(kāi)裂等問(wèn)題。相關(guān)設(shè)備供應(yīng)商邑文科技副總經(jīng)理葉國(guó)光接受上證報(bào)采訪(fǎng)時(shí)表示，“晶盛機(jī)電能成功研發(fā)8英寸SiC晶體，是一個(gè)很大突破?！?/p>

民生證券機(jī)械行業(yè)首席分析師李哲接受采訪(fǎng)時(shí)表示，SiC晶體生長(zhǎng)是采用升華法，制造效率、尺寸瓶頸明顯。晶盛機(jī)電研發(fā)出8寸片，表明其制造工藝水平已到國(guó)內(nèi)先進(jìn)水平。

SiC器件具有耐高溫、耐高壓、高頻特性好、轉(zhuǎn)化效率高、體積小和重量輕等優(yōu)點(diǎn)，其中導(dǎo)電型SiC一般用于做電力電子器件，被廣泛應(yīng)用于新能源汽車(chē)、軌道交通、光伏、5G通訊等領(lǐng)域。

來(lái)源：晶盛機(jī)電官網(wǎng)

晶盛機(jī)電證券部門(mén)人士透露，目前該項(xiàng)技術(shù)是實(shí)驗(yàn)室階段的研發(fā)成果，到量產(chǎn)還有很長(zhǎng)的一個(gè)過(guò)程。后續(xù)會(huì)根據(jù)工藝成熟度，送樣給下游客戶(hù)試用。

邑文科技副總經(jīng)理葉國(guó)光則表示，上述研究成果沒(méi)有披露關(guān)鍵的材料缺陷數(shù)據(jù)，而這一數(shù)據(jù)決定了它能做簡(jiǎn)單器件還是高端器件，因而無(wú)法做出更深的評(píng)價(jià)。

晶盛機(jī)電主營(yíng)業(yè)務(wù)是光伏和半導(dǎo)體領(lǐng)域的晶體生長(zhǎng)及加工設(shè)備、藍(lán)寶石材料和碳化硅材料的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售。公司通過(guò)自主開(kāi)發(fā)的設(shè)備、熱場(chǎng)和工藝技術(shù)，不斷延伸產(chǎn)品系列。2017年，公司開(kāi)始布局SiC業(yè)務(wù)，2020年建立長(zhǎng)晶和加工中試線(xiàn)，做出來(lái)的SiC晶體直徑也從最初的4英寸增大到如今的8英寸。

民生證券李哲表示，晶盛機(jī)電掌握先進(jìn)晶體生長(zhǎng)工藝，已經(jīng)在光伏及半導(dǎo)體硅片、藍(lán)寶石等領(lǐng)域證明了自身技術(shù)實(shí)力。它又較早地推出了SiC的6寸、8寸片，布局較為前瞻。預(yù)計(jì)未來(lái)兩年，其SiC設(shè)備及襯底、外延片有望逐步出貨，成為公司新的增長(zhǎng)極。

中國(guó)6英寸SiC開(kāi)始量產(chǎn)

SiC是功率器件的優(yōu)質(zhì)襯底材料。隨著光伏、鋰電需求日益增長(zhǎng)，其需求也處于高速增長(zhǎng)期。因而各國(guó)都非常重視SiC產(chǎn)業(yè)的商業(yè)化。

海外方面，目前Wolfspeed已投入10億美元建新工廠(chǎng)，并在今年4月開(kāi)始生產(chǎn)8英寸SiC等產(chǎn)品；羅姆旗下SiCrystal預(yù)計(jì)2023年左右開(kāi)始量產(chǎn)8英寸SiC襯底；Soitec在今年3月啟動(dòng)了新晶圓廠(chǎng)建設(shè)計(jì)劃，并在5月發(fā)布了8英寸碳化硅襯底產(chǎn)品。

我國(guó)8英寸SiC材料還在研發(fā)階段，尚未量產(chǎn)。此次晶盛機(jī)電報(bào)喜之前，爍科晶體、中科院物理所等企業(yè)和單位也成功研發(fā)了8英寸SiC單晶。

集邦咨詢(xún)化合物半導(dǎo)體分析師龔瑞驕表示，8英寸是降低SiC功率元件成本的重要途徑，被業(yè)界給予高度關(guān)注。目前全球不少SiC襯底廠(chǎng)商相繼推出了相關(guān)樣品，但僅有美國(guó)Wolfspeed一家步入量產(chǎn)。

民生證券李哲認(rèn)為，我國(guó)SiC4/6寸片已在量產(chǎn)中，8寸片產(chǎn)業(yè)化預(yù)計(jì)仍需要時(shí)間。

我國(guó)6英寸的SiC材料已經(jīng)步入量產(chǎn)階段。天岳先進(jìn)前不久披露，2023年至2025 年，公司及公司全資子公司上海天岳半導(dǎo)體材料有限公司將向合同對(duì)方銷(xiāo)售6 英寸導(dǎo)電型碳化硅襯底產(chǎn)品，合計(jì)金額為13.93億元。該金額約為天岳先進(jìn)2021年?duì)I業(yè)收入的2.8倍。這意味著中國(guó)導(dǎo)電型SiC襯底產(chǎn)業(yè)駛?cè)肟燔?chē)道。汽車(chē)等下游用戶(hù)也可以吃下“定心丸”，相關(guān)產(chǎn)品產(chǎn)能供應(yīng)問(wèn)題或?qū)⒌玫骄徑狻?/p>

晶盛機(jī)電6英寸SiC產(chǎn)品也在快速量產(chǎn)。今年3月，公司在寧夏開(kāi)工建設(shè)了一期年產(chǎn)40萬(wàn)片6英寸以上的導(dǎo)電型、絕緣型SiC襯底產(chǎn)能。另外據(jù)透露，他們獲得了意向SiC襯底訂單，3年內(nèi)將優(yōu)先向客戶(hù)提供SiC襯底合計(jì)不低于23萬(wàn)片。

（文章來(lái)源：上海證券報(bào)）

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